اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت اور سنکنرن مزاحمت جیسے سیرامک حصوں کی عمدہ خصوصیات کی وجہ سے، وہ اکثر مختلف سیمی کنڈکٹر کلیدی آلات میں استعمال ہوتے ہیں۔ سیمی کنڈکٹر سیرامک حصوں میں سیمی کنڈکٹر سیرامک آرمز، سیرامک سبسٹریٹس، سیرامک نوزلز، سیرامک ونڈوز، سیرامک کیویٹی کور، غیر محفوظ سیرامک ویکیوم کپ وغیرہ شامل ہیں۔
1. سیمی کنڈکٹر سیرامک بازو
سیمی کنڈکٹر آلات کے کام کرنے کے عمل میں، ویفرز کو سنبھالتے وقت سیرامک بازوؤں کی ضرورت ہوتی ہے، کیونکہ سلیکون ویفرز آلودہ نہیں ہو سکتے، اس لیے یہ عام طور پر ہوا کے صاف ماحول میں کیا جاتا ہے۔ ویکیوم ماحول میں، دوسرے مواد سے تیار کردہ زیادہ تر مکینیکل بازو ضروریات کو پورا نہیں کر سکتے، اس لیے اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، لباس مزاحمت اور زیادہ سختی کے ساتھ سرامک بازو استعمال کرنا ضروری ہے۔ عام طور پر لوگ سیرامک بازو کی تیاری کے لیے اعلی طہارت ایلومینا، سلکان کاربائیڈ کا استعمال کرتے ہیں، یہ دو خام مال اعلی سختی، پہننے کی مزاحمت اور اعلی درجہ حرارت کے خلاف مزاحمت اور دیگر جسمانی خصوصیات رکھتے ہیں، سیرامک بازو کی تیاری بہترین مواد ہے۔ ان دونوں مواد کے مقابلے میں، سلکان کاربائیڈ سے بنے سیرامک بازو کی کارکردگی ایلومینا سیرامک بازو سے بہتر ہے۔ تاہم، مواد کی قیمت اور پروسیسنگ کی دشواری کے پہلوؤں کے مقابلے میں، ایلومینا سے بنا سیرامک بازو زیادہ سرمایہ کاری مؤثر ہے، اور ایلومینا سیرامک بازو عام طور پر زیادہ استعمال ہوتا ہے۔
2. سرامک سبسٹریٹ
سیرامک سبسٹریٹ بنیادی طور پر مختلف الیکٹرانک پیکیجنگ فیلڈز میں استعمال ہوتا ہے، جیسے پاور الیکٹرانک ڈیوائس پیکیجنگ، لیزر پیکیجنگ، لائٹ ایمیٹنگ ڈائیوڈ پیکیجنگ، تھرمو الیکٹرک ریفریجریشن پیکیج، ہائی ٹمپریچر الیکٹرانک ڈیوائس پیکیجنگ، دیگر پاور ڈیوائس پیکیجنگ۔ چونکہ عام مواد اعلی درجہ حرارت کو برداشت نہیں کرسکتا ہے، عام حالات میں، الیکٹرانک پیکیجنگ عمل تھرمل چالکتا اور گرمی مزاحمت، اعلی طاقت، سیرامک مصنوعات کی اعلی وشوسنییتا کا استعمال کرتا ہے. لوگ اکثر سیرامک سبسٹریٹس تیار کرنے کے لیے ایلومینا، سلکان نائٹرائڈ اور دیگر مواد استعمال کرتے ہیں۔
3 سیرامک نوزل
HDP-CVD میں، ری ایکشن گیس ایک سیرامک نوزل کے ذریعے ری ایکشن چیمبر میں داخل ہوتی ہے جو چیمبر کے اندر اور باہر کو جوڑتی ہے، اس لیے نوزل کا معیار براہ راست ری ایکشن گیس کی پاکیزگی اور بہاؤ کی شرح کا تعین کرتا ہے۔ ایلومینیم آکسائڈ اور ایلومینیم نائٹرائڈ عام طور پر سیرامک نوزلز کی تیاری کے لیے استعمال ہوتے ہیں۔ چونکہ ایلومینیم نائٹرائڈ سیرامکس میں ایلومینیم آکسائیڈ سے بہتر تھرمل چالکتا اور تھرمل جھٹکا مزاحمت ہے، نوزلز پلازما کے سنکنرن کی وجہ سے ناپاک آلودگی کا سبب نہیں بنیں گے، اور نہ ہی وہ اسمبلی حصوں کے پہننے کی وجہ سے تھرمل اخترتی کی وجہ سے ناپاک آلودگی کا سبب بنیں گے۔ یہ اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ نوزلز ری ایکشن گیس اور ری ایکشن چیمبر کو ناپاک آلودگی کا کوئی خطرہ نہیں لاتے ہیں، اور اعلی درجے کے عمل HDP-CVD آلات میں درخواست کی ضروریات کو بہتر طریقے سے پورا کر سکتے ہیں۔
4. سیرامک ونڈوز
سیرامک ونڈو ایک اہم جزو ہے جو بڑے پیمانے پر سیمی کنڈکٹر ایچنگ مشینوں میں استعمال ہوتا ہے۔ اینچنگ مشین میں چیمبر کور کے طور پر، یہ پلازما اینچنگ مشینوں میں استعمال ہوتا ہے۔ یہ اینچنگ مشین کے چیمبر اور پلازما کپلنگ کوائل کے درمیان واقع ہے۔ یہ RF (ریڈیو فریکوئنسی) اور مائکروویو توانائی کو پلازما ایچنگ چیمبر میں منتقل کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے جبکہ سخت پلازما اینچنگ ماحول کے کٹاؤ کو روکتا ہے۔ موثر سیرامک ونڈوز میں RF اور مائیکرو ویو فریکوئنسیوں پر کم نقصان والے زاویہ ٹینجنٹ کی قدریں (ہائی ٹرانسمیٹینس) ہوتی ہیں۔ اگر نہیں، تو توانائی جذب ہو سکتی ہے اور بہت زیادہ گرمی میں تبدیل ہو سکتی ہے، اس طرح عمل (RF توانائی کا نقصان) اور جزو (بہت زیادہ گرمی اور تھرمل گریڈینٹ) دونوں کو نیچا دکھاتا ہے۔ اس پروڈکٹ کی تیاری میں، ہائی پیوریٹی ایلومینا اور یٹریئم آکسائیڈ کے دو جدید سیرامک مواد عام طور پر استعمال کیے جاتے ہیں، اور وہ مصنوعات جو درخواست کی ضروریات کو پورا کرتی ہیں، سخت مولڈنگ، سنٹرنگ اور فنشنگ پروسیسنگ اور سطح کے اسپرے کے عمل کے ذریعے مکمل کی جا سکتی ہیں۔
5. سرامک گہا کا احاطہ
سیرامک کیویٹی کور ایک مربوط آزاد فنکشنل جزو ہے جس میں سیرامک ڈوم، کولنگ سسٹم اور الیکٹروڈ کنٹرول سسٹم شامل ہیں۔ یہ 40nm اور اس سے نیچے کی پتلی فلم جمع کرنے والے آلات میں اہم اجزاء میں سے ایک ہے، اور ویفر کے معیار کو یقینی بنانے کے لیے اس کی کارکردگی بہت اہم ہے۔ سیرامک گہا کا احاطہ ویفر کے اوپری حصے پر ہوتا ہے، اور سی وی ڈی ڈیوائس کیویٹی کو بند چیمبر ماحول بنانے کے لیے سیل کر دیا جاتا ہے۔ گھنٹی کے کور کے ارد گرد کنڈلی والے اینٹینا ممبران ICP (پلازما) پیدا کرنے کے لیے ایک حوصلہ افزائی برقی فیلڈ بنانے کے لیے ہائی فریکوئنسی پاور کا استعمال کر سکتے ہیں، اور اسے سیرامک کیویٹی کور کے ذریعے چیمبر میں داخل کر سکتے ہیں تاکہ مساوی آئن ٹریٹمنٹ ہو سکے اور ہموار پیش رفت کی حفاظت کی جا سکے۔ جمع فلم کی. سیرامک چیمبر کور سیلنگ، اندرونی اور بیرونی دباؤ کے فرق اور رد عمل کے چیمبر کی صفائی میں کلیدی کردار ادا کرتا ہے، اور یہ CVD آلات کے سب سے اہم بنیادی اجزاء میں سے ایک ہے۔
6. سیرامک ویکیوم چوسنے والا
سیمک کنڈکٹر ڈیوائسز میں عام طور پر استعمال ہونے والے زیادہ تر سیرامک اجزاء گھنے سیرامک ہوتے ہیں، لیکن ویکیوم سوکر ایک غیر محفوظ سیرامک ہے۔ سیمی کنڈکٹر میٹریل سیلیکون ویفر ایک پتلا، سخت اور ٹوٹنے والا مواد ہے، جس کے دونوں اطراف کو گراؤنڈ اور پالش کرنے کی ضرورت ہوتی ہے، وغیرہ۔ لوگ عام طور پر اس قسم کے ورک پیس کو تلاش کرنے اور کلیمپ کرنے کے لیے ویکیوم سکشن کپ استعمال کرتے ہیں۔ روایتی مواد کے ذریعہ تیار کردہ ویکیوم سوکر کی کارکردگی اکثر استعمال کی ضروریات کو پورا کرنے میں ناکام رہتی ہے۔ انجینئرنگ اور ٹکنالوجی کی بہتری کے بعد، لوگ عام طور پر ویکیوم سوکر بنانے کے لیے سیرامک مواد استعمال کرتے ہیں۔ عام طور پر استعمال ہونے والا ویکیوم سوکر ایک غیر محفوظ ڈھانچہ ہے، جو دو سرامک مواد سے بنا ہوا ہے جو آپس میں جڑے ہوئے ہیں۔ غیر محفوظ سیرامک پلیٹ بیس کے کاؤنٹر سنک ہول میں لگائی جاتی ہے، جسے بیس کے ساتھ بندھا ہوا اور سیل کیا جاتا ہے، جو ایک گھنے سیرامک مواد سے تیار کیا جاتا ہے جو سانس لینے کے قابل نہیں ہوتا ہے۔ اگرچہ دونوں حصوں کے مواد مختلف ہیں، ان کے پہننے کی مزاحمت اور میکانی خصوصیات ایک جیسی ہیں۔ اس سے ویکیوم سوکر استعمال کی ضروریات کو پورا کرتا ہے۔
سیمی کنڈکٹر کے لئے بہت سی سیرامک مصنوعات ہیں، ہم آپ کی ضروریات کے مطابق مصنوعات فراہم کر سکتے ہیں، آپ کی مشاورت کا خیرمقدم کرتے ہیں۔
